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平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM

SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM

工作模式	接觸模式、輕敲模式	樣品重量	≤0.5Kg
選配模式	摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力	Z升降臺	步進電機驅動控制，最小步長10nm
力譜曲線	F-Z力曲線、RMS-Z曲線	Z升降行程	15mm（可選20mm，25mm）
XY掃描方式	樣品驅動式掃描，閉環壓電平移式掃描臺	光學定位	5X光學物鏡（可選10X/20X物鏡）
Z掃描方式	探針驅動式掃描	攝像頭	500萬像素數字CCD
XY掃描范圍	閉環100×100um	掃描速率	0.6Hz~30Hz
Z掃描范圍	5um	掃描角度	0~360°
掃描分辨率	閉環XY向0.5nm，Z向0.05nm	運行環境	Windows XP/7/8/10操作系統
XY樣品臺	步進電機驅動控制，移動精度1um	通信接口	USB2.0/3.0
XY移動行程	100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）	儀器結構	龍門架式掃描頭，大理石底座
樣品載物臺	直徑100mm（可選200mm，300mm）	減震方式	彈簧懸掛式（可選主動式減震臺）

應用案例

藍寶石外延片/掃描范圍1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm

砷化鎵晶圓.png 表格2.png 平板掃描2.png

砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm

注意事項：
儀器成套性與可選購件可參考產品原頁面，本頁只提供儀器核心技術參數。
產品價格均含有商品運費（大陸地區除外）及發票的價格但是不包含工程師上門培訓及調試的費用。
科信不保證網站展示產品的時效性,部分儀器可能已升級,保留最終解釋權。

科信報價：￥0.00

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