技術參數：
1.縱向測量重復性: 0.5nm （PSI 模式） 縱向分辨率： 2nm
2.縱向測量范圍：15mm
3.高度測量示值誤差： <3%
4.配備超高橫向分辨率測量功能（橫向分辨 100nm）
5.豐富的三維特征分析軟件和粗糙度分析功能
6.采用抗震性硬件結構和軟件算法設計
測量實例
VLSI納米臺階標準塊三維測量結果 磨削加工表面三維微觀結構測量
注意事項：
儀器成套性與可選購件可參考產品原頁面，本頁只提供儀器核心技術參數。
產品價格均含有商品運費（大陸地區除外）及發票的價格但是不包含工程師上門培訓及調試的費用。
科信不保證網站展示產品的時效性,部分儀器可能已升級,保留最終解釋權。
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