Micro-VU Excel 1650|200|250系列測量儀
技術參數
| 型號 |
Excel1651UM/UC |
Excel1652UM/UC |
Excel200U |
Excel250U |
| 量測行程 |
1250x1650x160mm |
1250x1650x250mm |
2000x1250x200mm |
2500x1600x200mm |
| 外形尺寸 |
1886x2600x1650mm |
1886x2600x1850mm |
1886x3084x1737mm |
2252x3794x1737mm |
| 重量 |
3,600kg |
3,650kg |
3,740kg |
6,800kg |
| 承載重量 |
100kg |
| 平臺材質 |
鋼構 |
| 平臺設計 |
龍門式 |
| 基座材質 |
花崗巖 |
| XY 精度 |
4.0+L/300μm |
4.05+L/300μm |
[5.5+L(mm)/300]μm |
[5.5+L(mm)/300]μm |
| Z 精度 |
2.8+L/150μm |
3.0+L/150μm |
3.0+L/150μm |
3.0+L/150μm |
| 加速度 |
1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) |
| 速度 |
500mm/s(XY), 500mm/s(Z) |
| 光學尺解析度 |
0.1μm |
| 影像 |
高解析度彩色或黑白系統 |
| 表面光, 輪廓光,同軸光光源 |
紅光LED (黑白系統白光)
LED(彩色系統) |
| 光學系統/放大倍率 |
12:1光學 Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率 |
| 軟體 |
InSpec Metrology Software |
| 電控系統 |
伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖桿 |
| 工作環境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
| 電源系統 |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
|
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