MX4RT微分干涉工業檢測顯微鏡金相顯微鏡 /工業檢測顯微鏡/微分干涉顯微鏡

SKU: MX4RT

產品介紹

產品簡介：

MX4RT微分干涉顯微鏡具備明場觀察，偏光觀察以及DIC觀察三種觀察模式，可以觀察FOGCCOG爆破粒子狀態結構。

產品性能特點：

MX4RT為新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業/ TFT玻璃/COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查

MX4RT采用6寸平臺設計，可適用于相應尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

MX4RT采用長工作距物鏡、半復消色差技術，多層寬帶鍍膜技術，采用長壽命LED光源。

序號	名稱	技術參數
1	平場目鏡	大視野PL10X/22mm
2	金相物鏡	無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X-DIC，WD=10.8mm，NA=0.15
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X-DIC，WD=12.2mm，NA=0.30
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X-DIC，WD=4mm，NA=0.45
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡50X，WD=7.9mm NA=0.55
3	總放大倍數	50X-500X
4	觀察頭	鉸鏈式三目，30°傾斜，分光比：三目50%/50%
6	調焦機構	透反機架，前置低手位粗微調同軸調焦機構，粗調每轉行程：30mm，微調精度：0.001mm，帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置，內置5WLED透射光照明系統，上下光可獨立控制
7	載物臺	6英寸三層機械移動平臺，低手位X\Y方向同軸調節，平臺面積445mmX240mm，移動范圍：158mmX158mm，玻璃載物平臺
8	偏光附件	檢偏鏡可360度旋轉，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
9	攝像接口	0.5X攝像接口，C型接口
10	照明系統	寬電壓100V~240V，5W暖色LED落射光照明系統，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調。


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