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自由曲面三維面型檢測系統
產品介紹產品功能： 光學元件表面的三維面型測量、 面型逆向和面型輪廓精度質量評價 檢測對象： 自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、 玻璃面板、透鏡、精密模具、 晶圓硅片等 面向行業： HUD、AR、精密光學及 3D 曲面 玻璃等領域生產企業或研發機構 技術特點： 1、自由曲面反射鏡及其它光學元件表面的光學非接觸、全場 3D 輪廓測量。 2、測量過程簡單,無需精密調整樣品姿態, 單件測量時間一般小于 20 秒；檢測效率遠遠優于三坐標和UA3P 等接觸式三維檢測設備，適合用于自由曲面光學面的全檢。 3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數據比對分析，可自動完成面型質量評價，輸出信息完善：包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。
4、完備的擬合分析：xy 多項式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。 5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷?？梢蕴峁┌祱鋈毕莘治??？梢愿鶕脩粜枨箝_發統計功能。
6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報告。
7.單點車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點車反射鏡面型誤差測量結果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um
8完善的測量輸出功能（測量原始數據輸出、可訂制化檢測報告輸出以及 Log 統計文件輸出），可根據用戶需求訂制輸出報告的內容格式。 技術參數技術參數：
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FM-AR532/AR785原子力顯微鏡與激光拉曼光譜儀一體機 對納米材料表面形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進行表征、分析 |
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FM-Nanoview1000AFM 分體式原子力顯微鏡 帶光學定位的CCD觀測系統，實時觀測與定位探針樣品掃描區域 |
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FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 開啟全民原子力顯微鏡時代，掃描范圍更廣，定位更精確 |
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原子力顯微鏡（環境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
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原子力顯微鏡光學一體機 FM-Nanoview Op-AFM |
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三維測量顯微鏡 |
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