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        雙探頭表面三維形貌分析系統

        SKU: FM-DP-3D

        產品介紹

        產品介紹:

          采用彩色激光共焦技術,可實現對材料表面微米、次微米級粗糙度檢測,并且可以進行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析,具有測量精度高,速度快,重復性好的優點。

            該系統可用于測量大尺寸樣品,軟件功能含括了點測量、線測量、面測量等強大的功能,可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測與分析、2D輪廓測量與3D形貌分析、平面度檢測、共面度檢測、平行度檢測等。

        本系統特點:

        一、采用傳動裝置:直線磁軸電機驅動

        二、專業集成設計

        三、豐富的三維計測

        四、多樣的三維觀察

         

        技術參數

        技術參數:

         

        探頭A

        探頭B

        工作距離

        11mm

        19mm

        量程

        ±190um

        ±1700um

        最大傾角

        ±28°

        ±21°

        光斑尺寸

        10um

        20um

        分辨率

        10nm

        40nm

        精度

        ±0.02%F.S.

        ±0.02%F.S.

        最小厚度測量

        12um

        66um

        最大厚度測量

        511um

        5098um

        電動臺參數:

        XY平臺

        驅動

        直線磁軸電機

        平臺大小

        220X230mm

        XY方向行程

        100X100mm

        分辨率

        0.05μm

        重復定位精度

        <1μm

        最大允許負重

        2Kg

        掃描速度

        ≤80mm/s

        掃描間距

        ≥0.5μm

        電氣特性

        控制器(專用電腦)額定輸入

        100-240V AC 5.3A 50/60Hz

        驅動器(專用機箱)額定輸入

        48V DC 2.1A

        傳感器輸入

        24V DC 3A


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