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        大平臺顯微激光拉曼光譜儀

        SKU: FM-Op- Ra-MX

        產品介紹

             產品簡介:

           本儀器是一款可以對樣品進行目鏡觀察、相機成像、拉曼光譜檢測以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

        儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺檢測顯微鏡等構成。

        特點:

        1.全新的MX大平臺檢測顯微鏡,最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。

        2.可以同時插入三個不同波長的拉曼光譜儀檢測模塊,并且可在軟件上進行不同光譜儀間的切換,即可實現多波長拉曼的快速自動檢測。

        3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個波長,且可搭配不同性能的光譜儀,如非制冷、制冷、深度制冷等,以滿足客戶對不同樣品、檢測精度的不同需求。

        4.若選配自動平臺,還可以實現自動點掃描進行高光譜成像。

        技術參數

        顯微鏡參數:

        光學系統

        無限遠光學系統

        調焦機構

        粗微動同軸調焦,微動格值:1微米

        最大行程:35mm

        目鏡

        大視野(視場數25mm)

        物鏡轉器

        六孔轉換器

        物鏡

        5X、10X、20X、50X、100X

        無限遠明暗場半復消金相物鏡

        載物臺

        平臺面積:718X420

        移動范圍:356X305

        帶離合器手柄

        電動平臺

        平臺面積:495X641

        移動范圍:306XXI06

        重復精度:(3+L/50)um

        照明系統

        明暗場反射照明器

        內置視場/孔徑光欄

        帶濾色片與偏光裝置插槽

        三目鏡筒

        瞳距55mm-75mm,

        CCD適配鏡

        0.5X C-mount

        分光比:50/50,100/0,0/100

        觀察方式

        明場、暗場、偏光、DIC

        其它

        高精度測微尺

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        包裝清單


          拉曼光譜儀參數:

        拉曼光譜范圍

        200-3600cm-1

        分辨率

        <15cm-1@25μm slit

        激光器

        532±1nm,線寬≤0.2nm

        激光功率穩定性

        ≤3% P-P(@2hrs)

        輸出功率

        0-100mW 可調

        濾光片激光截止深度

        OD8

        工作溫度

        0-40℃

        工作濕度

        5-80%

        激光器壽命

        5000hrs


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