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        首頁 > 顯微鏡 > 掃描探針顯微鏡 > 平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM
        
    
        

        

        

        

        


        
	
        
    	
        
        
            

	    
            
            
            
  	    
        
    
           
                		
	
        

        
        
        
        
	
        
    	
        
            
        
		
        
                		           
                
        
        		
    	
        
	
        
            
        
        平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM    
        
   
    
        
        
            
    
        SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM
        		
        
        
    
              
                




        產品介紹
        

         
        

        ◆實現探針和樣品組合式移動掃描的商業化原子力顯微鏡；
        

        ◆采用三軸獨立閉環壓電平移式掃描臺，實現大范圍高精度掃描；
        

        ◆ 三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；
        

        ◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測；
        

        ◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
        
◆         馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
        
◆         高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域；
        

            ◆ 閉環壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%。
        


        技術參數
        

        

         
        

        
            
    
        
        
            工作模式
            接觸模式、輕敲模式
            樣品重量
            ≤0.5Kg
        
        
        
        
            選配模式
            摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
            Z升降臺
            步進電機驅動控制，最小步長10nm
        
        
        
        
            力譜曲線
            F-Z力曲線、RMS-Z曲線
            Z升降行程
            15mm（可選20mm，25mm）
        
        
        
        
            XY掃描方式
            樣品驅動式掃描，閉環壓電平移式掃描臺
            光學定位
            5X光學物鏡（可選10X/20X物鏡）
        
        
        
        
            Z掃描方式
            探針驅動式掃描
            攝像頭
            500萬像素數字CCD
        
        
        
        
            XY掃描范圍
            閉環100×100um
            掃描速率
            0.6Hz~30Hz
        
        
        
        
            Z掃描范圍
            5um
            掃描角度
            0~360°
        
        
        
        
            掃描分辨率
            閉環XY向0.5nm，Z向0.05nm
            運行環境
            Windows   XP/7/8/10操作系統
        
        
        
        
            XY樣品臺
            步進電機驅動控制，移動精度1um
            通信接口
            USB2.0/3.0
        
        
        
        
            XY移動行程
            100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）
            儀器結構
            龍門架式掃描頭，大理石底座
        
        
        
        
            樣品載物臺
            直徑100mm（可選200mm，300mm）
            減震方式
            彈簧懸掛式（可選主動式減震臺）
        
        
            

        

        應用案例
        

          藍寶石外延片.png表格1.png  平板掃描1.png
        

         
        

            藍寶石外延片/掃描范圍1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm
        

           砷化鎵晶圓.png表格2.png  平板掃描2.png
        

        

           砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm 
        

        

		        		
	
        

        

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